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普泰克-高溫測(cè)試探針臺(tái)操作使用

發(fā)布時(shí)間: 2025-07-04  點(diǎn)擊次數(shù): 140次

一、高溫測(cè)試探針臺(tái)基本組成

高溫測(cè)試探針臺(tái)的核心組件需滿足高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和測(cè)試精度,主要包括:


  • 主機(jī)平臺(tái):承載所有部件的剛性基座,需抗震、防變形(高溫下基座變形會(huì)影響測(cè)試精度)。

  • 溫控系統(tǒng)

    • 加熱臺(tái):放置樣品的平臺(tái),材質(zhì)多為耐高溫陶瓷(如 Al?O?)或金屬(如 Inconel 合金),內(nèi)置加熱絲或加熱膜,支持精準(zhǔn)控溫(精度通常 ±0.1~1℃)。

    • 熱電偶 / 紅外測(cè)溫儀:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品表面溫度,反饋給溫控器實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

    • 溫控器:設(shè)置目標(biāo)溫度、升溫速率(通常 0.1~10℃/min 可調(diào)),具備超溫保護(hù)功能(防止樣品或設(shè)備損壞)。

  • 探針系統(tǒng)

    • 探針臂:多軸(X/Y/Z/θ)可調(diào)的精密機(jī)械臂,材質(zhì)需耐高溫(避免高溫下變形),部分型號(hào)配備隔熱設(shè)計(jì)(防止探針臂受熱影響定位精度)。

    • 探針:根據(jù)測(cè)試需求選擇(如鎢針、錸鎢針、藍(lán)寶石探針等),針尖直徑從微米級(jí)到亞微米級(jí),需耐高溫、抗氧化(如高溫下使用鍍金或陶瓷涂層探針)。

    • 探針座:固定探針,部分帶彈簧緩沖結(jié)構(gòu)(避免探針與樣品硬接觸導(dǎo)致?lián)p壞)。

  • 真空 / 大氣系統(tǒng)

    • 真空吸附裝置:通過(guò)真空泵將樣品吸附在加熱臺(tái)上(防止高溫下樣品移位),真空度通??蛇_(dá) 10?3~10?1Pa。

    • 氣氛控制模塊(可選):部分設(shè)備可通入惰性氣體(如 N?、Ar)或反應(yīng)氣體,防止樣品高溫氧化。

  • 光學(xué)觀察系統(tǒng)

    • 顯微鏡(光學(xué)或金相顯微鏡):放大樣品表面(100~1000 倍),輔助探針精準(zhǔn)定位到測(cè)試點(diǎn)(如芯片的焊盤(pán)、材料的電極)。

    • CCD 攝像頭:實(shí)時(shí)顯示觀察畫(huà)面,部分支持圖像存儲(chǔ)和標(biāo)注。

  • 電學(xué)連接系統(tǒng):探針通過(guò)同軸電纜連接到測(cè)試儀器(如萬(wàn)用表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、示波器等),傳輸電信號(hào)(電壓、電流、電阻等)。


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