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PTHC系列低溫液冷機應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(晶圓測試載物臺)chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。