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Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列
簡要描述：Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
- 更新時間：2025-07-02
- 訪 問 量：19
詳情介紹
Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機(jī)，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
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